DIY RF Kupplung Plasma

Atome bestehen aus einem positiv geladenen Kern, der von einer Wolke aus negativ geladenen Elektronen umgeben ist. Manchmal Atome können gewinnen oder verlieren Elektronen , die ihnen den Erwerb einer positiven oder negativen Nettoladungführt . Ein Atom mit einer Nettoladung als Ionen bekannt. Plasma ist eine Wolke von Ionen , und diese können eine Reihe von Anwendungen in der Halbleiterindustriehaben . Ein Plasma kann innerhalb eines Argon gefüllten Vakuumkammer mit einer Stromversorgung, die Radiofrequenz ( RF) erzeugt radiation.Things Sie
RF Vakuumkammer mit Argon Massendurchflussregler
Rotationspumpe
Brauchen hergestellt werden Turbo Pumpe
HF-Stromversorgung
HF- Anpassungsnetzwerk
2 HF-Kabel
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1

auf der Rotationspumpe einschalten und warten, bis der Druck bekommen, um 10 ^ -3 mbar . Schalten Sie die Turbopumpe , und warten, bis es hochzufahren . Warten Sie, bis ein Druck von etwa 10 ^ -6 mbar erreicht ist.

2 Verbinden Sie ein HF -Kabel zwischen dem HF-Anpassungseinheit und HF-Stromversorgung . Schließen Sie ein weiteres Kabel zwischen dem HF-Anpassungseinheit und die HF- Vakuumkammer Elektrodenbuchse .
3

teilweise zu schließen , dass das Ventil der Turbopumpe . Schalten Sie den Argon- Massendurchflussregler , und legen Sie einen Druck von 15 Millibar . Schalten Sie die HF-Stromversorgung und Anpassungseinheit . Legen Sie ein Vorwärtsleistung von 50 Watt. Die Anpassungseinheitgehört , wie es um die reflektierte HF-Leistung zu minimieren. Wenn das reflektierte Leistung von weniger als 1 Prozent der Vorwärtsleistung , erhöhen Sie die Vorwärtsleistung auf ca. 150 Watt. Das Plasma in der Kammer sollte leuchten , und obwohl die Kammer-Blick - Port sichtbar sein. Langsam sinken die Vorwärtsleistung wieder auf 50 Watt. Die HF- Paar Plasma erzeugt .